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  • 产品名称:上海微体例所研发环球最幼最省钱的MEMS压力传感器芯片
  • 更新时间:2021-11-29 08:34:03
  • 来源:球王会怎么样 作者:球王会app
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产品详细信息

  低本钱、高功能的幼型化压力传感器平素是消费电子商场不时寻找的对象。研发高良率单芯片工艺来修筑更幼且更高功能的芯片是此中一种处分计划。据麦姆斯磋议报道,指日,中国科学院上海微编造与新闻本领查究所(简称:上海微编造所)传感本领联结国度要点实行室李昕欣教师课题组正在Journal of Micromechanics and Microengineering期刊上公布最新的MEMS传感器查究效果——欺骗无疤痕微创手术(MIS)修筑超幼型MEMS压力传感器。该项查究的论文标题:Ultra-small pressure sensors fabricated using a scar-free microhole inter-etch and sealing (MIS) process,作家:焦鼎、倪藻、王家畴、李昕欣。

  该项查究论文映现了一种压阻式绝对压力传感器芯片,巨细仅为0.4mm 0.4mm,每颗芯片修筑本钱低至1美分——目前环球最幼尺寸、最低本钱!查究职员欺骗体硅下薄膜本领(thin-film under bulk-silicon technique),正在集成压敏电阻的体硅梁岛组织下方变成出格薄但平均的多晶硅压力传感膜片。梁岛加紧组织有帮于提拔灵活度、减幼挠度、刷新线性度。该压力传感器芯片采用一种新型的无疤痕微创手术(MIS)修筑而成,而且该工艺与法式IC代工场的工艺兼容,是以可有用低重本钱。

  正在这项新开采的工艺中,密封组织不正在多晶硅膜片区域,而是正在多晶硅膜片边际的单晶硅岛和单晶硅框架上。因此,多晶硅膜片可能依旧平整和滑腻,从而降低了传感器芯片功能和修筑造品率。更首要的是,薄膜片梁岛组织足够幼,是以可能修筑出幼至0.4mm 0.4mm的传感器芯片。因为每片6英寸晶圆可分娩90000颗芯片,是以采用这种高良率工艺可达成极低的芯片修筑本钱:1美分。

  这款超幼型且低本钱的MEMS压力传感器芯片的灵活度为0.88 mV·kPa?1/3.3V、滞回系数为0.15%满量程(FS)、可反复性偏差为0.04%满量程(FS)、非线%满量程(FS)。正在没有任何其它热储积设施的情状下,查究职员对该压力传感器芯片正在-25℃至+85℃温度领域内举办100 kPa的满量程测试,结果解释该芯片的零点偏移温度系数(TCO)为-0.064%/℃满量程(FS)、灵活度温度系数(TCS)为-0.22%/℃。

  欺骗新型无疤痕微创手术工艺研发出的MEMS压力传感器芯片可餍足气压计或高度计的运用需求,希望得回智内行机、无人机、智能腕表和其它消费电子产物的青睐。

  数字化、智能化、可视化是良多品牌连锁企业闭心的偏向。何如有用的降低门店的坪效,何如让实体门店的规划加倍智能、高效,这些都是线下门店正在做机灵化改造急需处分的题目。此次新零售视界采访到了笃志于“人、客、场”查究的每人店联结创始人及CMO殷雄舟,正在实体门店的智能化改造方。

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